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α-Si TFT結(jié)構(gòu)
時(shí)間:2024-07-01 瀏覽:346 來源:本站原創(chuàng)
1.一般由柵電極、柵絕緣層(SiNx或SiOx)、有源層(a-Si:H層)、歐姆接觸層(n+ a-Si :H)以及源漏電極等幾個(gè)主要部分組成。
2. 工藝簡單,玻璃基板成本低,導(dǎo)通比大,可靠性高,容易大面積化。

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